白光干涉測(cè)厚儀是一種新型的表面形貌測(cè)量方法,能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)樣品表面形貌的三維測(cè)量。它通過(guò)掃描定位被測(cè)樣品表面各點(diǎn)的最佳干涉位置得到表面各點(diǎn)相對(duì)高度,重構(gòu)表面三維輪廓,實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品表面三維形貌的測(cè)量。
白光干涉測(cè)厚儀的優(yōu)勢(shì):
測(cè)量精度高、速度快,穩(wěn)定性好。
①使用高性能氦氖激光器,結(jié)合伺服穩(wěn)頻控制系統(tǒng),達(dá)到高精度穩(wěn)頻。
②以光波長(zhǎng)為測(cè)量單位,分辨率可達(dá)nm級(jí)。
?、凼褂酶咚俟怆娦盘?hào)采樣和處理技術(shù),測(cè)量速度快。
?、芘浜嫌协h(huán)境補(bǔ)償單元,在環(huán)境變化的情況下,也可以得到較高的測(cè)量精度。
⑤分離式干涉鏡設(shè)計(jì),避免了測(cè)量鏡組由于主機(jī)發(fā)熱而引起的鏡組形變。
白光干涉測(cè)厚儀的設(shè)備亮點(diǎn):
1、差值算法
同點(diǎn)測(cè)量應(yīng)用時(shí),X射線測(cè)厚儀不能使用簡(jiǎn)單的面密度差值算法,X射線測(cè)厚儀的差值算法,精準(zhǔn)的將凈涂布量的面密度計(jì)算出來(lái)。
2、探頭
采用低能量的X射線,核心部件進(jìn)口,無(wú)輻射污染、環(huán)?;砻狻勖L(zhǎng)。X光束的能量可以通過(guò)調(diào)節(jié)加速電壓來(lái)優(yōu)化測(cè)量范圍。
3、驅(qū)動(dòng)、通訊
采用高精度伺服電機(jī),定位精度高,重復(fù)性好,速度閉環(huán)控制功能;
采用無(wú)延時(shí)實(shí)時(shí)網(wǎng)絡(luò)通訊,信號(hào)采樣周期10ms,幾臺(tái)測(cè)厚儀做同點(diǎn)測(cè)量時(shí),確保幾臺(tái)測(cè)厚儀的掃面路徑*一致
4、掃描架
O型掃描架,采用鋼板一體折彎而成,不易變形,全封閉式設(shè)計(jì)。